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青島車間凈化的氣流速度/通風(fēng)次數(shù)一直是車間凈化設(shè)計(jì)中關(guān)注的問題。隨著青島車間凈化污染源控制效果的提高和末級過濾器效率的提高,關(guān)于相關(guān)規(guī)范和指南提出的推薦或參考值是否保守已經(jīng)有很多討論。在實(shí)踐中,解決了FFU在應(yīng)用中擔(dān)心的噪音、損壞和維護(hù)問題。隨著FFU的不斷改進(jìn),是否使用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是一個(gè)熱點(diǎn):懸浮分子污染(AMC)微電子和IC行業(yè)的控制日益提及日程,備受關(guān)注。下面分別對這些問題進(jìn)行了歸納和分析。
在青島車間凈化的一定潔凈度下,氣流速度的確定因青島車間凈化的使用等具體情況而異。它不僅受到室內(nèi)灰塵量和過濾效率的影響,還受到其他因素的影響。就工業(yè)青島車間凈化而言,影響潔凈度和選擇氣流速度的主要因素如下:
(1)室內(nèi)污染源:建筑組件、人員數(shù)量、操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料、工藝加工本身等。都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;
(2)室內(nèi)氣流類型和分布:單向流需要均勻平等的流線,但會受到工藝設(shè)備布局、位置變化、人員活動等的干擾,形成局部渦流;而不是單向流,需要充電和混合,避免死角和溫度分層;
(3)自清潔時(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求:清潔室事故釋放或帶入污染物或空氣氣流中斷或正常操作時(shí)間歇性對流氣流或人和設(shè)備的運(yùn)動會導(dǎo)致清潔度惡化,恢復(fù)到原來清潔度的自清潔時(shí)間取決于氣流速度;自清潔時(shí)間的控制要求取決于這個(gè)時(shí)間框架(在惡化的清潔度下)對產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量和成品率的承受能力;